单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒。
2024年11月22日 · 本篇文章全面解析了单晶硅棒的制作全过程,从技术路径到详细工艺,再到产业面临的技术挑战,系统梳理了单晶硅棒生产的核心环节与关键细节。
一、 单晶硅棒 制作的技术路径. 单晶硅棒的制作经过数十年的技术发展,目前形成了以直拉法(Czochralski法,CZ法)和区域熔炼法(Float Zone法,FZ法)为主的两种核心技术路径。这两种技术在工业应用场景和产品性能上各有优劣,下面进行详细解析。
硅棒的出色性能不仅在于它作为半导体材料的电子特性,还包括其高热导性、机械稳定性以及可与许多不同的元素进行化学反应的能力。 这些属性使得硅棒可以广泛应用于电子和光电子设备中,如晶体管、太阳能电池和各种 微型传感器 。
单晶硅的制法通常是先制得 多晶硅 或 无定形硅 ,然后用 直拉法 或 悬浮区熔法 从熔体中生长出棒状单晶硅。单晶硅主要用于制作半导体元件。 单晶硅主要用于制作半导体元件。
单晶硅棒. 新美光历经多年研发,采用MCZ超导磁场直拉法生长的超大尺寸半导体级单晶硅棒,最大直径可达485mm,单炉投炉量高达400KG,并持续研发更大尺寸的硅棒,其杂质含量极低,无晶格位错缺陷,电阻率均匀性好,生长良率高。 查看详情
半导体行业是单晶硅棒最重要的应用领域之一,几乎所有的现代电子器件都依赖于单晶硅芯片。 在这个领域,单晶硅棒经过加工成为晶圆,进一步用于制造各类集成电路、 功率器件 以及光电子器件。
2024年11月20日 · 提拉法工艺以高纯度多晶硅为基础,通过种晶引导晶体的生长,在控制环境下逐渐形成符合工业需求的单晶硅棒。 以下是详细的工艺步骤及技术核心。 1.1.1 工艺流程解析
2024年11月20日 · 单晶硅因其完美的晶体结构,具备更高的电学均匀性和载流子寿命(>1000微秒),在光电转换效率上优于多晶硅(~20%)和非晶硅(~10-15%)。 多晶硅存在大量晶界,这些晶界作为缺陷,降低了电学性能。
什么是单晶硅棒? 多晶硅通过直拉法CZ或者区熔法FZ长晶得到的棒状单晶硅材料。 一般的硅棒均指单晶硅棒,如果是多晶结构的“硅棒”,我们一般称之为多晶硅碇。